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石英套管的原理及作用

發布日期:2019-11-22新聞所屬:admin

石英套管定義

石英套管是一種只含二氧化硅單一成份的特種玻璃。由于種類、工藝、原料的不同,國外基本上都叫硅酸玻璃、石英套管、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英,以及沒有明確概念的透明、半透明、不透明石英等。我國統稱石英套管,多按工藝方法、用途及外觀來分類,如電熔透明石英套管、連熔石英套管、氣煉透明石英套管、合成石英套管、不透明石英套管、光學石英套管、半導體用石英套管、電光源用石英套管等。人們習慣于用“石英”這樣一個簡單的詞匯來命名這種材料,這是絕對不妥的,因為“石英”是二氧化硅結晶態的一種通稱,它與玻璃態二氧化硅在理化性質上是有區別的。

化學性質

石英套管具有極低的熱膨脹系數,高的耐溫性,極好的化學穩定性,優良的電絕緣性,低而穩定的超聲延遲性能,*佳的透紫外光譜性能以及透可見光及近紅外光譜性能,并有著高于普通玻璃的機械性能。因此它是近代尖端技術中空間技術、原子能工業、國防裝備、自動化系統,以及半導體、冶金、化工、電光源、通訊、輕工、建材等工業中不可缺少的優良材料之一。

石英套管是用天然結晶石英(水晶或純的硅石),或合成硅烷經高溫熔制而成。熔融后的產品具有極好的加工性能,在其高的粘度范圍內,可以將管和棒進行有如普通玻璃細工一樣的熱加工,還可以用金剛石或碳化硅制成的磨具進行高速機械加工,從而制成各種復雜形狀的儀器和特種制品。石英套管的性能主要取決于它的純度,其次是工藝過程或熱工制度。微量雜質的存在將給石英套管的使用性能帶來重大的影響;同時由于工藝過程或熱工制度的稍有疏忽,將給外觀質量帶來多種多樣的缺陷,產生大量的廢次產品。

純度

純度是石英套管的重要指標,對理化性能和使用性能影響甚大,如失透性、高溫強度、軟化點、光的傳導、熱穩定性、化學穩定性、耐輻射性、熒光特性等;此外,用于半導體工業的石英套管,對純度的要求更為苛刻,微量的雜質將給半導體材料的電性能和壽命以及集成度帶來嚴重的影響。由于半導體材料的純度要求控制在ppb數量級以下,因此石英套管則應控制在PPm數量級以適應半導體工業的需要。B的分凝系數近于1,*難除掉,是*有害的雜質之一,Cu、Fe、Ti等影響半導體的少子壽命,K、Na、Li是單晶材料產生微缺陷的有害雜質。本公司為半導體工業服務已有40余年的歷史,并始終致力于去除上述有害雜質的研制工作。

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